柴油發電機組進水后，以下是一些處理步驟：

1. 立即停止發電機組運行并切斷電源：這是為了防止進一步的損壞和危險。

2. 排除進水源：檢查冷卻系統、燃油系統和密封件等，找出進水的原因并盡快修復。

3. 清洗和干燥：將發電機組徹底清洗干凈，包括發動機、燃油系統、冷卻系統和電氣部件等。使用干燥的布或吸水器吸取水分，確保所有部件都干燥。

4. 檢查損壞：仔細檢查發電機組的各個部件，特別是電氣部件和機械部件，以確定是否有損壞或腐蝕。如有需要，更換受損的部件。

5. 重新啟動和測試：在確認所有部件都已干燥和修復后，重新啟動發電機組，并進行必要的測試和調整，確保其正常運行。

請注意，以上步驟僅供參考，具體處理方法可能因發電機組型號、進水情況和損壞程度而有所不同。